Әзірлеуші

Параметрлер кестесі

Өнім сипаттамасы

Интегралды схемалар мен дисплей панельдерін өндіруде «дамыту» көбінесе экспозицияланбаған аймақтардан фоторезисті жою үшін қолданылатын фотолитография процесінің қадамын білдіреді. Бұл қадам өндіріс процесінде өте маңызды, себебі ол құрылғының функционалдық өнімділігіне әсер ететін материалдың үлгісі мен құрылымын анықтайды. Фотолитография процесінде чиптің бетін жабатын фоторезисті өңдеу және экспозицияланбаған жерлерде фоторезисті жою үшін дамып келе жатқан ерітінді қолданылады.

Арнайы пайдалану әдетте келесі қадамдарды қамтиды:
Дайындық:Әзірлеуден бұрын әзірлеуші ​​жабдықты және әзірлеуші ​​шешімді дайындау керек. Әзірлеуші ​​ерітінді әдетте фоторезисті экспозициясыз аймақтарда таңдамалы түрде ерітетін арнайы химиялық ерітінді болып табылады.
Ылғалдау:Фоторезистпен жабылған чип дамып келе жатқан ерітіндіге малынған. Фоторезисттің дұрыс жойылғанына көз жеткізу үшін сулау уақыты мен температурасын әдетте бақылау қажет.
Жуу:Әзірлеу аяқталғаннан кейін, әдетте дамып келе жатқан ерітінді қалдықтарын және басқа қоспаларды кетіру үшін чипті жуу керек.
Кептіру:Соңында, оның беті құрғақ және қалдықсыз болуын қамтамасыз ету үшін чипті кептіру керек.

Дисплей панелін өндіруде ұқсас әзірлеу қадамдары дисплей панеліне арналған арнайы үлгілерді немесе құрылымдарды қалыптастыру үшін белгілі бір материалдарды немесе қосылыстарды жою үшін де пайдаланылуы мүмкін. Айта кету керек, әзірлеу процесі нәтижесінде алынған үлгілер мен құрылымдар дизайн талаптарына және өндіріс дәлдігіне сәйкес келетініне көз жеткізу үшін өңдеу параметрлері мен уақытын қатаң бақылауды қажет етеді. Сонымен қатар, кез келген өндіріс процесінде химиялық заттарды пайдалану тиісті қауіпсіз пайдалану процедуралары мен қоршаған ортаны қорғау талаптарын сақтауды талап етеді.

Әзірлеушілер негізінен жартылай өткізгіш өнеркәсібінде фотолитография процесінде қолданылады. Фотолитография процесі жартылай өткізгіштерді өндірудегі негізгі қадам болып табылады, ол чиптегі кремний пластиналарындағы ұсақ үлгілер мен құрылымдарды анықтау үшін қолданылады. Фотолитография процесінде фоторезист кремний пластинкасының бетіне жабылады, содан кейін үлгі масканы қолдану және УК сәулесінің әсер етуі арқылы фоторезистке беріледі. Содан кейін әзірлеуші ​​сахнаға шығады. Әзірлеушінің функциясы фотолитографиядан өтпеген фоторезисттің бөлігін еріту немесе алып тастау, осылайша қажетті үлгіні кремний пластинасына беру. Бұл қадам чиптегі қажетті микроқұрылымды кремний пластинасына дәл көшіруге болатынын қамтамасыз ете отырып, кейінгі оюлау, тұндыру және басқа процестердің негізін қалады. Әзірлеушіні таңдау және пайдалану соңғы чиптің сапасы мен өнімділігіне маңызды әсер етеді, сондықтан жартылай өткізгіш өнеркәсібінің өндірісінде әзірлеушіні пайдалануды қатаң бақылау және стандарттау қажет.