ಡೆವಲಪರ್
ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಟೇಬಲ್
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಪ್ರದೇಶ | ವರ್ಗೀಕರಣ | ಉತ್ಪನ್ನದ ಹೆಸರು | ಇನ್ನೊಂದು ಹೆಸರು | ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ |
TFT-LCD | ಅಭಿವೃದ್ಧಿ | ಸಿಎಫ್ ಡೆವಲಪರ್ | ಸಿಎಫ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ | |
ಅರೇ ಡೆವಲಪರ್ | 25% TMAH | |||
ಪೊಟ್ಯಾಸಿಯಮ್ ಹೈಡ್ರಾಕ್ಸೈಡ್ | KOH | |||
ಸೋಡಿಯಂ ಹೈಡ್ರಾಕ್ಸೈಡ್ | NaOH |
ಉತ್ಪನ್ನ ವಿವರಣೆ
ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನಲ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, "ಅಭಿವೃದ್ಧಿ" ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸದ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಂದ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಬಳಸುವ ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಈ ಹಂತವು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ವಸ್ತುವಿನ ಮಾದರಿ ಮತ್ತು ರಚನೆಯನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಧನದ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಚಿಪ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಆವರಿಸುವ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸದ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಶೀಲ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಬಳಕೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಳಗಿನ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ:
ತಯಾರಿ:ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುವ ಮೊದಲು, ನೀವು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಶೀಲ ಸಾಧನ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಬೇಕು. ಅಭಿವೃದ್ಧಿಶೀಲ ಪರಿಹಾರವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿಶೇಷ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಹಾರವಾಗಿದ್ದು, ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸದ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ದವಾಗಿ ಕರಗಿಸುತ್ತದೆ.
ನೆನೆಯುವುದು:ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನೊಂದಿಗೆ ಮುಚ್ಚಿದ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಶೀಲ ದ್ರಾವಣದಲ್ಲಿ ನೆನೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗಿದೆಯೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನೆನೆಸುವ ಸಮಯ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
ತೊಳೆಯುವುದು:ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಅಭಿವೃದ್ಧಿಶೀಲ ದ್ರಾವಣದ ಶೇಷ ಮತ್ತು ಇತರ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ತೊಳೆಯಬೇಕು.
ಒಣಗಿಸುವುದು:ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ಅದರ ಮೇಲ್ಮೈ ಶುಷ್ಕ ಮತ್ತು ಶೇಷ-ಮುಕ್ತವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಒಣಗಿಸಬೇಕಾಗಿದೆ.
ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನಲ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನೆಲ್ಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಮಾದರಿಗಳು ಅಥವಾ ರಚನೆಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಕೆಲವು ವಸ್ತುಗಳು ಅಥವಾ ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಇದೇ ರೀತಿಯ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಹಂತಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಮಾದರಿಗಳು ಮತ್ತು ರಚನೆಗಳು ವಿನ್ಯಾಸ ಅಗತ್ಯತೆಗಳು ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಮಯ ಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ಗಮನಿಸಬೇಕಾದ ಅಂಶವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಯಾವುದೇ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಪದಾರ್ಥಗಳ ಬಳಕೆಗೆ ಅನುಗುಣವಾದ ಸುರಕ್ಷಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳು ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಸಂರಕ್ಷಣೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಅನುಸರಣೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಡೆವಲಪರ್ಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಹಂತವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ಚಿಪ್ನಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ಸಣ್ಣ ಮಾದರಿಗಳು ಮತ್ತು ರಚನೆಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಲೇಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಮುಖವಾಡವನ್ನು ಬಳಸಿ ಮತ್ತು ಯುವಿ ಬೆಳಕಿಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಂತರ, ಡೆವಲಪರ್ ವೇದಿಕೆಗೆ ಬರುತ್ತಾನೆ. ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಾಫ್ ಮಾಡದ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ಭಾಗವನ್ನು ಕರಗಿಸುವುದು ಅಥವಾ ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಡೆವಲಪರ್ನ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಹಂತವು ನಂತರದ ಎಚ್ಚಣೆ, ಶೇಖರಣೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಅಡಿಪಾಯವನ್ನು ಹಾಕುತ್ತದೆ, ಚಿಪ್ನಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗೆ ನಕಲಿಸಬಹುದು ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಡೆವಲಪರ್ನ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ಬಳಕೆ ಅಂತಿಮ ಚಿಪ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಡೆವಲಪರ್ನ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಬೇಕು.
ವಿವರಣೆ 2