ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳು
ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಟೇಬಲ್
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಪ್ರದೇಶ | ವರ್ಗೀಕರಣ | ಉತ್ಪನ್ನದ ಹೆಸರು | ಇನ್ನೊಂದು ಹೆಸರು | ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ |
IC | ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕ | ಫಾಸ್ಪರಿಕ್ ಆಮ್ಲ | H3PO4 | G3 |
ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲ | H2SO4 | G5 | ||
ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ | HF | G5 | ||
ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೆರಾಕ್ಸೈಡ್ | H2O2 | G5 | ||
ಅಮೋನಿಯ | NH3·H2O | G5 | ||
ನೈಟ್ರಿಕ್ ಆಮ್ಲ | HNO3 | G4 | ||
ಅಸಿಟಿಕ್ ಆಮ್ಲ | CH3COOH | G3 | ||
ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ | ಹೆಚ್.ಸಿ.ಎಲ್ | G3 | ||
ಎನ್-ಮೀಥೈಲ್ಪಿರೋಲಿಡೋನ್ | NMP | G3 |
ಉತ್ಪನ್ನ ವಿವರಣೆ
ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನಲ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಳಗಿನ ಉದ್ದೇಶಗಳಿಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:
ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವಿಕೆ:ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನಲ್ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಇದು ಧೂಳು, ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ಉಳಿಕೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ.
ಎಚ್ಚಣೆ:ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ಗಳಿಂದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ನಮೂನೆಗಳು ಮತ್ತು ರಚನೆಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಫಲಕಗಳನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸಲು ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಎಚಂಟ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕೆಮಿಕಲ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ (CMP):ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನೆಲ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಮತಟ್ಟಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಮೇಲ್ಮೈ ಅಸಮಾನತೆ, ಆಕ್ಸೈಡ್ಗಳು ಮತ್ತು ಅವಶೇಷಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು CMP ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ:ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ಮೈ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಅಥವಾ ರಕ್ಷಿಸುವ ಮೂಲಕ ಬಯಸಿದ ಮಾದರಿಗಳು ಮತ್ತು ರಚನೆಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲು ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು.
ಸಂಪರ್ಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ:ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನಲ್ಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ನಂತರದ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅವಶೇಷಗಳು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, ನಿರ್ವಾಹಕರ ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನೀವು ಸುರಕ್ಷಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳು ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಸಂರಕ್ಷಣೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಪಾಲಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಪರಿಸರವನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಲು ತ್ಯಾಜ್ಯ ವಿಲೇವಾರಿಯಲ್ಲಿ ಸಂಬಂಧಿತ ನಿಯಮಗಳು ಮತ್ತು ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಬೇಕು.
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವು ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಎಚ್ಚಣೆ, ಶೇಖರಣೆ, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತಗಳಿಗೆ ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಬಯಸುತ್ತದೆ. ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಏಕೈಕ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಅಥವಾ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವೈಯಕ್ತಿಕ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಬಹುದು. ಈ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆಯು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಅವರು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತಾರೆ, ಉತ್ಪನ್ನದ ನಿಖರತೆ, ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತಾರೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕ ಬಳಕೆಯು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪರಿಸರದ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುವಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಏಕ ರಾಸಾಯನಿಕವು ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿವರಣೆ 2