स्ट्रीपर

पॅरामीटर सारणी

उत्पादन वर्णन

इंटिग्रेटेड सर्किट्स आणि डिस्प्ले पॅनेल्सच्या उत्पादन प्रक्रियेत, "स्ट्रिपर" सहसा फोटोरेसिस्टचे उघड न झालेले भाग काढून टाकण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या विकसकाचा संदर्भ घेतात. त्याच्या वापराच्या चरणांमध्ये सामान्यतः समाविष्ट आहे:

उद्भासन:उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, फोटोरेसिस्टला सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर लेपित केले जाते. चिकट थर नंतर डिझाइन पॅटर्नसह प्रकाशात येतो. फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेद्वारे, नमुना फोटोरेसिस्टमध्ये हस्तांतरित केला जातो.

विकास:उघड न झालेले भाग काढून टाकणे आवश्यक आहे. या चरणात, एक विकसक (स्ट्रिपर) इच्छित नमुना तयार करण्यासाठी न उघडलेल्या भागांमधून फोटोरेसिस्ट काढण्यासाठी वापरला जातो.

स्वच्छता:सिलिकॉन वेफर स्वच्छ करा आणि पृष्ठभागावर राहू शकणारे कोणतेही विकासक अवशेष काढून टाका. डिस्प्ले पॅनल उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, डिस्प्ले पॅनेलचे विशिष्ट नमुने किंवा संरचना तयार करण्यासाठी काही सामग्री किंवा संयुगे काढून टाकण्यासाठी तत्सम विकसकांचा वापर केला जाऊ शकतो. सर्व प्रकरणांमध्ये, विकसकाच्या वापरासाठी कामगारांची सुरक्षितता आणि उत्पादन उपकरणांचा योग्य वापर सुनिश्चित करण्यासाठी निर्मात्याच्या सूचना आणि सुरक्षा शिफारसींचे पालन करणे आवश्यक आहे.

चिप उत्पादन प्रक्रियेत, स्ट्रिपर सहसा फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपरचा संदर्भ देते, जो फोटोरेसिस्ट काढण्यासाठी वापरला जातो. फोटोरेसिस्ट ही चिप उत्पादनात नमुना हस्तांतरणासाठी वापरली जाणारी मुख्य सामग्री आहे. फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेत, चिपच्या पृष्ठभागावर फोटोरेसिस्टचा लेप केला जातो आणि नंतर एक्सपोजर आणि विकास यासारख्या पायऱ्यांद्वारे आवश्यक नमुना तयार केला जातो. तथापि, पॅटर्न ट्रान्सफर पूर्ण झाल्यावर, चिप पृष्ठभागावरील उर्वरित फोटोरेसिस्ट काढून टाकणे आवश्यक आहे जेणेकरुन पुढील प्रक्रियेच्या चरणात पुढे जाण्यासाठी, जसे की कोरीव काम किंवा डिपॉझिशन. यावेळी, आपल्याला फोटोरेसिस्ट काढण्यासाठी स्ट्रिपर वापरण्याची आवश्यकता आहे. स्ट्रिपर हे सामान्यत: एक रासायनिक द्रावण असते जे चिपच्या पृष्ठभागास हानी न करता फोटोरेसिस्ट द्रुत आणि प्रभावीपणे विरघळते आणि काढून टाकते. ही प्रक्रिया चिप उत्पादनाची अचूकता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. फोटोरेसिस्ट काढून टाकल्यानंतर, चिप पृष्ठभाग स्वच्छ होते, त्यानंतरच्या प्रक्रियेच्या चरणांसाठी स्वच्छ पृष्ठभाग प्रदान करते.