டெவலப்பர்
அளவுரு அட்டவணை
விண்ணப்ப பகுதி | வகைப்பாடு | தயாரிப்பு பெயர் | மற்றொரு பெயர் | தயாரிப்பு தரம் |
TFT-LCD | வளர்ச்சி | Cf டெவலப்பர் | CF வளர்ச்சி | |
வரிசை டெவலப்பர் | 25% TMAH | |||
பொட்டாசியம் ஹைட்ராக்சைடு | கோஹ் | |||
சோடியம் ஹைட்ராக்சைடு | NaOH |
தயாரிப்பு விளக்கம்
ஒருங்கிணைந்த சர்க்யூட் மற்றும் டிஸ்பிளே பேனல் தயாரிப்பில், "வளர்ச்சி" என்பது பெரும்பாலும் ஒளிச்சேர்க்கை செயல்முறையின் படிநிலையைக் குறிக்கிறது, இது வெளிப்படாத பகுதிகளில் இருந்து ஒளிச்சேர்க்கையை அகற்ற பயன்படுகிறது. இந்த படி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கியமானது, ஏனெனில் இது பொருளின் வடிவத்தையும் கட்டமைப்பையும் வரையறுக்கிறது, இது சாதனத்தின் செயல்பாட்டு செயல்திறனை பாதிக்கிறது. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில், சிப் மேற்பரப்பை உள்ளடக்கிய ஒளிச்சேர்க்கையை செயலாக்கவும், வெளிப்படாத பகுதிகளில் ஒளிச்சேர்க்கையை அகற்றவும் வளரும் தீர்வு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
குறிப்பிட்ட பயன்பாடு பொதுவாக பின்வரும் படிகளை உள்ளடக்கியது:
தயாரிப்பு:வளரும் முன், நீங்கள் வளரும் உபகரணங்கள் மற்றும் வளரும் தீர்வு தயார் செய்ய வேண்டும். வளரும் தீர்வு பொதுவாக ஒரு சிறப்பு இரசாயன தீர்வு ஆகும், இது ஒளிச்சேர்க்கையை வெளிப்படுத்தாத பகுதிகளில் தேர்ந்தெடுத்து கரைக்கிறது.
ஊறவைத்தல்:photoresist உடன் மூடப்பட்ட சிப் வளரும் கரைசலில் ஊறவைக்கப்படுகிறது. ஊறவைக்கும் நேரம் மற்றும் வெப்பநிலை பொதுவாக ஒளிச்சேர்க்கை சரியாக அகற்றப்படுவதை உறுதிசெய்ய கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.
கழுவுதல்:வளர்ச்சி முடிந்ததும், வளரும் கரைசல் எச்சம் மற்றும் பிற அசுத்தங்களை அகற்ற, சிப் பொதுவாக கழுவ வேண்டும்.
உலர்த்துதல்:இறுதியாக, சிப் அதன் மேற்பரப்பு உலர்ந்ததாகவும், எச்சம் இல்லாததாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்ய உலர்த்த வேண்டும்.
டிஸ்ப்ளே பேனல் தயாரிப்பில், டிஸ்ப்ளே பேனலுக்கான குறிப்பிட்ட வடிவங்கள் அல்லது கட்டமைப்புகளை உருவாக்க சில பொருட்கள் அல்லது சேர்மங்களை அகற்றுவதற்கும் இதேபோன்ற மேம்பாட்டுப் படிகள் பயன்படுத்தப்படலாம். வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு செயலாக்க அளவுருக்கள் மற்றும் அதன் விளைவாக வரும் வடிவங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகள் வடிவமைப்பு தேவைகள் மற்றும் உற்பத்தி துல்லியத்தை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்வதற்கான கடுமையான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது என்பதைக் குறிப்பிடுவது மதிப்பு. கூடுதலாக, எந்தவொரு உற்பத்தி செயல்முறையிலும், இரசாயனப் பொருட்களின் பயன்பாட்டிற்கு தொடர்புடைய பாதுகாப்பான இயக்க நடைமுறைகள் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு தேவைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்.
டெவலப்பர்கள் முக்கியமாக செமிகண்டக்டர் துறையில் போட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறார்கள். ஃபோட்டோலித்தோகிராபி செயல்முறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய படியாகும், இது சிப்பில் உள்ள சிலிக்கான் செதில்களில் சிறிய வடிவங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகளை வரையறுக்கப் பயன்படுகிறது. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் பூசப்படுகிறது, பின்னர் ஒரு முகமூடியைப் பயன்படுத்தி மற்றும் புற ஊதா ஒளியை வெளிப்படுத்துவதன் மூலம் இந்த வடிவம் ஒளிச்சேர்க்கைக்கு மாற்றப்படுகிறது. பின்னர், டெவலப்பர் மேடைக்கு வருகிறார். டெவலப்பரின் செயல்பாடு, ஃபோட்டோலித்தோகிராஃப் செய்யப்படாத ஒளிச்சேர்க்கையின் பகுதியைக் கரைப்பது அல்லது அகற்றுவது, இதன் மூலம் விரும்பிய வடிவத்தை சிலிக்கான் செதில்க்கு மாற்றுவது. இந்த படியானது அடுத்தடுத்த பொறித்தல், படிவு மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கு அடித்தளத்தை அமைக்கிறது, சிப்பில் தேவையான நுண் கட்டமைப்பை சிலிக்கான் செதில் துல்லியமாக நகலெடுக்க முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. டெவலப்பரின் தேர்வு மற்றும் பயன்பாடு இறுதி சிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனில் முக்கிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, எனவே டெவலப்பரின் பயன்பாடு குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் உற்பத்தியில் கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட்டு தரப்படுத்தப்பட வேண்டும்.
விளக்கம்2