வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்கள்
அளவுரு அட்டவணை
விண்ணப்ப பகுதி | வகைப்பாடு | தயாரிப்பு பெயர் |
ஐசி | வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்கள் | செதில்களின் பின்புறத்தில் கண்ணாடி மெல்லியதாகிறது |
செதில் பின்புறத்தின் அணுவாக்கம் மற்றும் மெலிதல் | ||
பாலிசிலிகான் மற்றும் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளின் பொறித்தல் | ||
ஆக்சைடு பொறித்தல் மற்றும் செதில் சுத்தம் செய்தல் | ||
உலோகத் திரைப்பட பொறித்தல் | ||
நைட்ரஜன்-சிலிக்கான்/ஆக்ஸி-சிலிக்கான் ஐசோகினெடிக் எச்சிங் | ||
இண்டியம் காலியம் துத்தநாக ஆக்சைட்டின் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொறித்தல் | ||
நைட்ரஜன்-சிலிக்கான்/ஆக்ஸி-சிலிக்கானின் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொறித்தல் | ||
SiN/AlO, SiN/TiN இன் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொறித்தல் | ||
பாஸ்போரிக் அமிலம் சேர்க்கைகள், CMP உராய்வுகள் | ||
HK மெட்டீரியல் செதுக்கும் திரவங்களின் புதிய தலைமுறை | ||
மாலிப்டினம் பொறித்தல் | ||
Sc-AlN-டோப் செய்யப்பட்ட பொறித்தல் | ||
SiGe இன் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொறித்தல் | ||
செதில்களின் பின்புறம் மெலிந்து, அதிக அளவு டோப் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட முறையில் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது | ||
செதுக்கலில், சிலிக்கான் ஆக்சைடு மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு பொறித்தல் ஆகியவற்றின் தேர்வு விகிதம் 200 க்கும் அதிகமாக உள்ளது. | ||
செதுக்கலில், சிலிக்கான் ஆக்சைடு மற்றும் அலுமினியத்தின் செதுக்கல் தேர்வு விகிதம் 50 க்கும் அதிகமாக உள்ளது. | ||
பொறித்தல் திரவங்கள் ஆழமான அகழிகளில் ஊடுருவி அவை சிலிக்கா ஊடகத்தை ஒரு குறிப்பிட்ட ஆழத்தில் பொறிக்க முடியும். | ||
கேட் சிலிக்கான் ஆக்சைடு பொறிக்கப்பட்டு நல்ல சீரான தன்மை கொண்டது | ||
ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் நீர்த்த | ||
உளிச்சாயுமோரம் செதில் மீளுருவாக்கம் கட்டுப்படுத்தவும் | ||
உலர் எச்சிங் எச்சங்களை அகற்றுதல் | ||
அலுமினிய செயல்பாட்டில் உலர் எச்சிங் எச்சத்தை சுத்தம் செய்தல் (>130nm) | ||
செப்பு செயல்பாட்டில் உலர் எச்சிங் எச்சத்தை சுத்தம் செய்தல் (130nm-40nm) | ||
செப்பு செயல்முறை: TiN கடின முகமூடி (40nm-12nm) மூலம் உலர் எச்சிங் எச்சத்தை சுத்தம் செய்தல் | ||
இது 10nm செயல்முறை AlOx சுத்தம் மற்றும் அகற்றலுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது | ||
லிஃப்ட்-ஆஃப் செயல்முறை ஒளி எதிர்ப்பு நீக்கம் | ||
லிஃப்ட்-ஆஃப் செயல்முறை ஒளி எதிர்ப்பு நீக்கம் |
தயாரிப்பு விளக்கம்
ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் மற்றும் டிஸ்ப்ளே பேனல்கள் தயாரிப்பதில் பொதுவாக வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்கள் பல்வேறு வழிகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சில பொதுவான பயன்பாடுகள் பின்வருமாறு:
போட்டோலித்தோகிராபி செயல்முறை:சர்க்யூட் போர்டுகளில் அல்லது டிஸ்பிளே பேனல்களில் நுண்ணிய கட்டமைப்புகளை வரையறுப்பதற்கு ஃபோட்டோரெசிஸ்டுகளைத் தயாரிக்க வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்கள் பயன்படுத்தப்படலாம். இந்த இரசாயனங்கள் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, துல்லியமான வடிவங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகளை உருவாக்க உதவுகின்றன.
சுத்தம் செய்தல் மற்றும் எச்சங்களை அகற்றுதல்:உற்பத்தியின் போது உருவாகும் கரிம மற்றும் கனிம எச்சங்கள் போன்ற எச்சங்களை சுத்தம் செய்வதற்கும் அகற்றுவதற்கும் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் படிவு:குறிப்பிட்ட கடத்துத்திறன் அல்லது ஒளியியல் பண்புகளுடன் செயல்பாட்டு அடுக்குகளைத் தயாரிப்பது போன்ற பல்வேறு இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் படிவு செயல்முறைகளில் சில வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்கள் பயன்படுத்தப்படலாம்.
தயாரிப்பு தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்தவும்:தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்தவும் வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்கள் பயன்படுத்தப்படலாம், உதாரணமாக மேற்பரப்பு சிகிச்சைகள் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளை கட்டுப்படுத்துதல்.
வடிவமைக்கப்பட்ட இரசாயனங்களுடன் பணிபுரியும் போது, பாதுகாப்பான இயக்க நடைமுறைகள் கண்டிப்பாக பின்பற்றப்பட வேண்டும் மற்றும் பொருத்தமான சூழலில் கையாளுதல் மற்றும் அகற்றுதல் ஆகியவை மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும்.
எலக்ட்ரானிக் கூறு உற்பத்தி செயல்பாட்டில், ஐசி தர இரசாயனங்கள் பொதுவாக பின்வரும் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன:
உயர் தூய்மை:IC தர இரசாயனங்கள் உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது எந்த அசுத்தங்களும் அல்லது அசுத்தங்களும் அறிமுகப்படுத்தப்படாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய மிக அதிக தூய்மையுடன் இருக்க வேண்டும். இந்த இரசாயனங்கள் கடுமையான தூய்மை தேவைகளுக்கு உற்பத்தி செய்யப்பட வேண்டும் மற்றும் கடுமையான சுத்திகரிப்பு மற்றும் சோதனை நடைமுறைகளுக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும்.
துல்லியமான இரசாயன பண்புகள்:IC-தர இரசாயனங்கள் நிலையான இரசாயன பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், மேலும் அவற்றின் கலவை கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்டு, உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது அவை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்ய வேண்டும்.
தொடர்புடைய தரநிலைகளுக்கு இணங்க:தயாரிப்பு தரம் மற்றும் பாதுகாப்பை உறுதி செய்வதற்காக IC-தர இரசாயனங்களின் உற்பத்தி மற்றும் பயன்பாடு தொடர்புடைய தொழில் தரநிலைகள் மற்றும் விதிமுறைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்.
கிளாஸ் ஐசி இரசாயனங்களைப் பயன்படுத்தும் போது, உற்பத்தியாளர்கள் பொதுவாக தங்கள் ஆதாரங்களைக் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்துகிறார்கள், பொருத்தமான சேமிப்பு மற்றும் கையாளுதல் நடைமுறைகளைப் பின்பற்றுகிறார்கள், மேலும் ஆபரேட்டர்கள் சரியான முறையில் பயிற்சி பெற்றிருப்பதை உறுதி செய்கிறார்கள்.
விளக்கம்2