ஒற்றை இரசாயனங்கள்
அளவுரு அட்டவணை
விண்ணப்ப பகுதி | வகைப்பாடு | தயாரிப்பு பெயர் | மற்றொரு பெயர் | தயாரிப்பு தரம் |
ஐசி | ஒற்றை வேதியியல் | பாஸ்போரிக் அமிலம் | H3PO4 | G3 |
சல்பூரிக் அமிலம் | H2SO4 | G5 | ||
ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம் | எச்.எஃப் | G5 | ||
ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு | H2O2 | G5 | ||
அம்மோனியா | NH3·H2O | G5 | ||
நைட்ரிக் அமிலம் | HNO3 | G4 | ||
அசிட்டிக் அமிலம் | CH3COOH | G3 | ||
ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் | எச்.சி.எல் | G3 | ||
என்-மெத்தில்பைரோலிடோன் | என்.எம்.பி | G3 |
தயாரிப்பு விளக்கம்
ஒருங்கிணைந்த சுற்று மற்றும் காட்சி பேனல் உற்பத்தி செயல்முறைகளில், ஒற்றை இரசாயனம் பொதுவாக பின்வரும் நோக்கங்களுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:
சுத்தம்:செமிகண்டக்டர் செதில்கள் மற்றும் டிஸ்ப்ளே பேனல்களின் மேற்பரப்புகளை சுத்தம் செய்ய ஒற்றை இரசாயனத்தைப் பயன்படுத்தலாம். இது தூசி, அசுத்தங்கள் மற்றும் எச்சங்களை நீக்கி, உற்பத்தி செயல்முறையின் போது நல்ல மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
பொறித்தல்:செமிகண்டக்டர் செதில்களிலிருந்து குறிப்பிட்ட பொருட்களைத் துல்லியமாக அகற்றுவதற்கும், விரும்பிய வடிவங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகளை உருவாக்க பேனல்களைக் காண்பிப்பதற்கும் ஒற்றை வேதியியல் ஒரு எச்சனாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங் (சிஎம்பி):செதில்கள் மற்றும் டிஸ்ப்ளே பேனல்களை உற்பத்தி செய்யும் செயல்பாட்டில், சிங்கிள் கெமிக்கல் CMP செயல்பாட்டில் மேற்பரப்பில் சமச்சீரற்ற தன்மை, ஆக்சைடுகள் மற்றும் எச்சங்களை அகற்றி ஒரு தட்டையான மேற்பரப்பு மற்றும் விரும்பிய சுற்று உள்ளமைவைப் பெற பயன்படுத்தப்படுகிறது.
போட்டோலித்தோகிராபி:குறிப்பிட்ட பகுதிகளில் மேற்பரப்புப் பொருளை அகற்றி அல்லது பாதுகாப்பதன் மூலம் விரும்பிய வடிவங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகளை வரையறுப்பதற்காக ஒற்றை இரசாயனத்தை ஒளிப்படவியல் செயல்பாட்டில் ஒரு பொருளாகப் பயன்படுத்தலாம்.
தொடர்பு சுத்தம்:உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது, செமிகண்டக்டர் செதில்கள் மற்றும் டிஸ்ப்ளே பேனல்களின் தரம் மற்றும் தூய்மையைப் பராமரிக்க பிந்தைய செயலாக்க எச்சங்கள் மற்றும் இரசாயனங்களை சுத்தம் செய்யவும் அகற்றவும் ஒற்றை இரசாயனம் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ஒற்றை இரசாயனத்தைப் பயன்படுத்தும் போது, ஆபரேட்டர்களின் பாதுகாப்பை உறுதிப்படுத்த பாதுகாப்பான இயக்க நடைமுறைகள் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்புத் தேவைகளை நீங்கள் கண்டிப்பாக கடைபிடிக்க வேண்டும், மேலும் சுற்றுச்சூழலைப் பாதுகாக்க கழிவுகளை அகற்றுவதில் தொடர்புடைய விதிமுறைகள் மற்றும் தரநிலைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்.
குறைக்கடத்தி துறையில், ஒற்றை இரசாயனம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையானது சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், படிதல், ஒளிப்படவியல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பிற செயல்முறை படிகளுக்கு பல்வேறு இரசாயனங்கள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். ஒற்றை இரசாயனம் என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட செயல்முறைப் படியில் பயன்படுத்தப்படும் ஒற்றை உயர் தூய்மை இரசாயனத்தைக் குறிக்கலாம் அல்லது உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது தனிப்பட்ட கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் இரசாயனத்தைக் குறிக்கலாம். இந்த இரசாயனங்களின் தரம் மற்றும் தூய்மையானது குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளின் தரம் மற்றும் செயல்திறனுக்கு முக்கியமானதாகும். அவை செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, தயாரிப்பு துல்லியம், நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. கூடுதலாக, ஒற்றை இரசாயனத்தின் பயன்பாடு உற்பத்தி செயல்முறையின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை எளிதாக்குகிறது, உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தாக்கத்தை குறைக்கிறது. எனவே, செயல்முறை நம்பகத்தன்மை மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை உறுதி செய்வதில் குறைக்கடத்தி துறையில் ஒற்றை வேதியியல் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
விளக்கம்2